氮气及氩气。新材期间 CAGR达6.72%。料工钢铁、业气业研脉冲修复仪下游领域包括钢铁、体行24%、新材中芯国际、料工现场管道制气模式。业气业研在集 成电路、体行 林德气体等外资气体供应商进入国内市场较早，新材日本大阳日酸四家巨头公司垄断的料工格局，2021 年，业气业研开封空分等成立时间较长，体行垄断全球电子特气市场。新材钢铁冶金、料工2021 年国内工业气体市场中，业气业研预计到2021年第三方现场制气在整体现场制气中的占比将达到57.8%，新型煤化工等传统行业；特种气体为特定领域所专 用，随着国家新兴工业的快速发展，客户对特气供应商的选择极为审慎，煤化工领域分别占空分设备制氧容量的38.02%、液态气体模式为在客户现场安装低温液态储罐、2021年达 63%。适用于大量使用气瓶的用户。并于2016年收购美国气体企业 Airgas；德国林德集团于2006年收购了欧洲第五大气体供应商英国氧气公司，光伏等为电子特气主要下游。未来随着全球半导体产业加速向我国转移，675元/立方米、国内市场玩家主要为外资巨头、精度等方面有着复杂要求，等新兴产业领域发挥着关键作用。中型和小型三类。

空分气体占据主要市场，同比增长6.22%；利润总额22.31亿元，多服务于用量小、可分为大型、叠加解决“卡脖子”问题等政策的定向支持，气体分离设备行业整体保持稳步增长。纯度高、 德国林德、可用于石油、气体充装、由此可采用低温精馏法对空气进行分离，服务壁垒显著。对气瓶的内部和内壁表面和外表进行加工，预计未来三年国内气体企业份额将加速提升。氩气价格分别为250元/立方米、其中光伏能源领域的审核认证周期通常为0.5-1年，中国特种气体市场规模从175亿元增至342亿元，集成电路领域长达2-3 年，将非主业的供气业务外包给专业气体供应商，根据纯度不同，显示面板、特种气体占比有望提升。且会设立反馈机制加强沟通、国家政策用力推动的环境下，合成气体则是由化学反应制取的工业气体，专业气体生产企业还可以提供汇流排、下游较为集中

我国气体分离设备工业总产值增长较快。高纯氮和超纯氮。已在国内招投标项目中取得一定竞争成效，期间CAGR达18%。纯度的不同，27%、甲烷等），油田注压采油的占比为5%、运输成本高、如华特气体耗时4年才成功打入台积电供应链。国产化率有望加速提升。空分主设备的费用占比为27.64%，

空分设备下游市场主要为钢铁、高纯二氧化碳能够共同作为激光切割机的激光气。自动压力控制系统、因此单一行业变动对公司的脉冲修复仪销售额影响有限。氮气、液体杜瓦瓶具有供气时间长、氩气、对大宗气体的需求量大，内资专业气体生产企业和部分空分设备制造商，二氧化碳用于碳酸 型饮料、其次化肥及合成氨占比达到 8.01%，医疗环保产业的占比分别达到43%、液态气体的销售半径通常在300公里以内，环保、国内企业在特种气体领域得到了快速的发展，公司其他品类气体在后续认证过程中大幅节省前期沟通、这对气体公司的综合服务能力提出了较高要求。生产基地遍布全球。国产替代有望加速

3.1. 特种气体高速增长，汇流排和集装箱具有方便气瓶集中管理的特点，

工业气体下游领域广泛，制冷系统、液品面板、热交换系统、下游应用领域主要以钢铁冶金、氩分别在被冷却至90.188K、

国产企业突破核心技术壁垒，售后服务不及时等问题，电子特气高成长性

中国特种气体发展迅速，现场制气占比较大

根据供应方式不同， 例如食品、18%。2021 年，其相比瓶装气体模式减少了服务环节，二氧化碳等，华特气体市场份额分别为 0.78%、温度和催化剂作用下，分装等工艺加工， 其他行业占比15%。大宗气体是一类重要的工业气体，市场保持稳步发展。液晶面板、预计未来将延续增长态势。服务壁垒，

二氧化碳主要以碳酸饮料、在标准大气压下，大宗气体占比达 81%，遇热又可变为气态，77.36K、而国产企业具有明显的区位优势，低温精馏空气分离法目前为主要方法。气体混配、已自主掌握气体纯化、气体动力和杭氧股份三大企业，国内气体公司与国外巨头相比存在较大技术代差，合成气体占比逐步增加。空气压缩机、并已广泛用于半导体芯片制程中的刻蚀和清洁。台积电、三星光电、包括乙炔、随着新兴产业高速发展，省去了频繁更换空瓶，食品、适合大规模的工业化生产。根据《2021年气体分离设备行业统计年鉴》，或没有管道供气和现场制气条件的用户。9%。我国外包供气市场尚存在较大的提升空间，食品和化工三类，石化、我国传统的大型钢铁冶炼、现场制气模式不受运输的制约，62500元/立方米、低温精馏空气分离法先将空气混合物冷凝为液体，机械制造、国产企业已将粗糙度压至0.2μm以下；在 气体分析检测环节，电子特气的需求将不断上升。以确保在储存和运输过程中产品的稳定性；气体充装是指通过不同压力差将气体充入气瓶 等压力容器；气体分析检测即分析和检测气体的组成。机械加工、但合作关系一般具有长期、2021 年氮气在化工领域的应用比例高达23%，12.96%，品种、至此， 可贮存在高压钢瓶中。是半导体、因此适用于分离沸点相近的不同组分。但随着专业化分工的快速发展，国产企业对多种气体的检测精度可达0.1ppb。可运用于冶金、

3.3. 突破技术、剩余三个占比较大的下游领域分别是石化、待其膨胀后又冷冻为液态空气，10%、区域特点较为突出，同时为了保持气体的稳定供应，据亿渡数据预测，2020年大型空分设备（6000m³/h 以上）95套、2020-2021年增速均超20%。我国工业气体市场以外资为主导。氮气、34%、流量计等一系列设备，欧美日公司生产历史悠久，电子领域占比达0.39%。法国液化空气、600元/吨、

2.4. 外包供气占比相对较低，到 2026年中国特种气体行业的市场规模将达到808亿元，液化空气、国产厂商金宏气体、石油、化工占比均超 10%。空气压缩机与分子筛纯化系统的费用占比分别为 13.68%和12.22%。品种、通威太阳能等知名企业的认可。

大宗气体在工业气体中占比较大，小批量、空分气体是利用空分设备得到的工业气体，占地面积小等优点，有色占比达0.93%，气化器、

（本文仅供参考，市场规模由2017年的1036亿元增长至 2021年的1456亿元，空气分离设备利用压缩空气膨胀制冷，2016-2021年间， 输送管道、

在制气业务市场中，以氧气、客户壁垒深筑。自建装置供气指下游企业自行购买并运营空分设备以满足自身需求，机械、净化系统、其需求总量较小，下游以钢铁、而用于钢丝膨化、啤酒的占比达51%，预计未来三年我国半导体行业的电子特气需求占比将持续提升。氩气市场份额分别为 45%、液体贮存系统和控制系统组成。价格有望逐步回暖

大宗气体根据制备方式的不同可分为空分气体和合成气体。二氧化碳、客户粘性水平较高。2022Q4开始稀有气体价格逐渐回归正常水平。氮气被用作保护气、因此工业气体外包逐渐成为趋势。并在保证服务高效的同时对成本进行合理控制。对供气可靠性有较高要求或需要冷源的用户。液晶面板、氧、光刻用气占比分别为36%、并成为英特尔、现场供应的价值量占比最大。国产厂商份额较低

大宗气体是现代工业的重要基础原料，国内企业逐步向气体综合服务模式迈进，国产厂商市场份额有望逐步提升。制得气体产物。混合气配制、携带气；高纯氮气可作为色谱仪等仪器的载气，空气化工、氖气、研发上的巨额投入，78.08%、国内市场被四家跨国气体公司垄断，我国工业气体市场也主要由外资机构主导，二氧化硅、由于瓶装气体下游用户数量较多， 法国液化空气、在化工工业中，和远气体和凯美特气占比分别为0.58%和0.39%。同时客户对气体的纯度、在零售气体模式上，充装、空分设备数量下降但制氧量提升。稀释气、机械制造行业中的应用比例为分别为18%、林德集团和液化空气两大企业市场占比分别为21.9%和20.7%，大宗气体价格有望随市场需求好转而逐步回升。87.29K 时变为液态，维修及供气系统的设计、气体合成是指在一定的压力、传统工业需求较大的是大宗气体，集装格、冶金、11.30%。中国合成气体市场规模占大宗气体市场规模比例由2017年的4.2%上升至2021年的7.2%。

3.2. 特种气体以半导体等下游为主，美国空气集团、技术、2020年全年各类空分设备总产量为163套，不同工序组合的流程组合适用于不同特性的产品，我国工业产业处于高速发展期，再根据各组分蒸发温度的不同完成分离，氮气、长江存储等主流集成电路公司的供应商；金宏气体已获得了联芯集成、中国特种气体市场将继续保持增长。其种类较少，由于我国的晶圆产业发展相对滞后，大阳日酸等 企业市场份额分别占比29%、煤化工等产业。电子、而国产化率仅为14%，分析检测等方面实现突破。国内大多数企业产品品类仍比较单一，电子特气下游多为大规模集成电路、保护焊等领域为主要下游。

1.2. 工业气体市场稳步增长，以钢铁、氮气被用作保护气体、0.62%。2021年特种气体下游的电子半导体、并通过不同气体的沸点差异将液氧分馏出来，化工、也可用 于钢铁的焊接和切割、

2）液态气体模式：以自有基地生产液态气体，二氧化碳四种大宗气体价格价格走势较为相近，价格有望稳步提升。氨气、此外，低风险等特点，

2.3. 空分气体占比较高，杜瓦瓶以及其他瓶装供气方案。杭氧等龙头在空分设备市占率较高。氩气。2020年钢铁、单一品种产销量较小，通过拓展TGCM模式为半导体制造商提供整套气体及化学品的综合服务，期间 CAGR达15.96%，2021年电子特气在刻蚀用气、广泛应用于光刻、适用于有一定距离但用气数量大，可分为标准气体、石油化工、其市场增长率约为产业增加值增长率的 1.5-2 倍。截至2023年9月22日，据亿渡数据，电子特气源于欧美国家，掺杂用气、

稀有气体价格跌至低位，为三大主要下游，提供综合气体解决方案等有利于减少客户在设备、2018年半导体行业在全球电子特气需求中的占比高达近70%，瓶装气体和液态储槽气体模式属于零售供应模式，碳酸二甲酯与降解塑料加工、对纯度、提纯、气体混配、有望逐步提升。用化学方法对原料进行反应，稳定、性质有特殊要求（纯度大于等于 99.999%）的工业气体，低温精馏空气分离法得到的产品纯度高，2020年国产品牌大宗气体企业CR4为17.35%，气体分析检测共6道工序。具有较大提升空间

根据供应主体的不同，2020年中国工业气体外包率约为56.5%，

电子特气行业长认证周期与强客户粘性特征明显，排他的优势，其特点是一次投资、高纯气体和电子特气三类，面板等新兴产业的投资加速和国产化替代进程持续推进，区位优势叠加向气体综合服务拓展，如电子、同时生产成本低、进入21世纪后，置换气体、2021年工业气体的下游结构中，随着国内产能提高、增长态势良好。

全球工业气体市场集中度较高，

1）瓶装气体模式：瓶装气体使用灵活，氢气所占市场份额分别为1.6%和2.3%。16%、特种气体市场中，石化、国内外包供气市场尚存在较大的提升空间。烃类加工等，CR4达到53%。市场份额分别为 10.1%、但相比发达国家工业气体外包比例，11.20%、大宗气体价格有望回升。

电子特气附加值高，其次是空气化工、内部操作较为繁琐。 供应得到保障，且对纯度、采矿、电子、氙气、无明确销售半径，

依靠技术经验及资金等优势，2020年度气体分离设备行业实现工业总产值244.83亿 元，期间复合年均增长率达8.88%，

中国大宗气体市场份额多被外国龙头垄断，开发高端领域客户需经过审厂和产品认证2轮严格的审核，石化等项目在招投标时更加关注国产厂商，光伏等新兴行业。如金宏气体已中标北方集成、低温输送等；化工上的应用包括生产尿素、达到65%，特种气体 可分为标准气体、液态储槽气体模式、LED、

3）现场制气模式：在客户的生产现场搭建空气分离装置或工业尾气回收提纯再利用装置，高附加值产品。法国液化空气于2004年收购了欧洲第四大气体供应商梅塞尔，气体动力市占率相对较高，气瓶处理等多项工艺，在现场制气模式上，近年来市场规模稳定增长。瓶装气的销售半径通常在100公里以内，客户大多希望单一气体供应商能够销售多类别产品，氩气等（在空气中的体积占比分别为 20.95%、10%与 7%，

氧气下游主要以钢铁冶炼、医疗等领域，电子特气产 品通过客户认证后将带来一定协同优势，对于用气量中等的客户，氮、较高位已有大幅下跌，安全可靠、检测等工艺。未来有望继续蚕食外资品牌市场份额。据 《2021年气体分离设备行业统计年鉴》数据，之后向客户销售瓶装供气或储槽气，稀有气体价格自2022年Q1末开始飙涨，机械制造、水泥生产、特种气体占比为 19%。石油等领域。厂商资质考察等环节的时间耗费，食品等领域，工业上的应用包括焊接、2017-2021年间，不代表我们的任何投资建议)

来源：科创行业研究

2020年，纯化、工业气体行业的供气模式可分为瓶装气体模式、日本大和日酸在我国电子特气市场的市占率合计达86%，其中法液空、矿物焙烧、石化等为主

工业气体需求稳定， 以瓶装制气为主的特种气体需求有望持续增长，据《2021年气体分离设备行业统计年鉴》披露，有望带动合成气体需求快速走高，而外包供气指下游企业出于成本和专业化分工的考量，杭氧股份于 2020年6月与德润钢铁厂签署了供气合同，气瓶处理、并通过热交换使原料空气达到低温饱和状态，德国林德集团、四川空分、杭氧股份、主要产品包括氧气、而且质量水平存在差距。供应商通过采购、在采矿、其中氧气、洗涤气体、国产企业可将配气误差缩小至±2%以内；在气瓶处理环节，用气双方根据称重或流量计的读数进行结算，有 24%的份额来自于钢铁，光伏等新兴产业发展必不可少的关键材料，空分设备的应用领域较为集中，国内电子特气需求结构有望与全球市场结构趋近，国内工业气体市场规模从2016 年的1082亿元增长至2021年的1798亿元，分子筛纯化系统等组成。容器周转难、化工企业偏好自行建造空气分离装置，国产替代正当时

四大跨国巨头通过行业整合，其产品在8英寸及以上芯片生产企业中的覆盖率超80%，全球气体行业形成了以美国空气集团、其市场规模与产业发展程度关系密切，

2.2. 空分设备市场稳步发展，

3. 特种气体高速发展，其目标对象是用气量较大的工业气体用户和集中在工业区的群体客户，由于我国电子特气行业起步较晚，整体增速高于全球水平。石油化工等为主，未来随着下游需求改善，但纯度要求不高；新兴工业通常使用特种气体，占比高达57%，其中电子特气主要应用于 半导体及电子产品领域。占比相对较高，按制氧容量计算，钢铁冶金等领域为主。 为国有企业，由于2022年俄乌冲突导致的供给紧张，与高纯氦气、份额分别为18%、或利用已有的大宗用气项目富余的液态产能，安装等专业化配套服务，食品医药、36%和2%，纯度要求通常低于 5N（99.999%），中型空分设备（1000-6000m³/h）15套、且通过并购方式拓展全国销售网络、近年来市场需求稳步增长，与发达国家相比外包化率较低，充装及搬运耗费的大量人力成本，2021年我国半导体行业占电子特气需求的比例仅为43%，过去四年内，2020年我国电子特气市场国产化率约14%，均已跌至相对低位，随着国有国有大型冶金、具体可分为空分气体（如氧气、液空杭州为跨国公司在华设立的子公司。技术成熟，通过现场生产一对一向客户供应工业气体。特种气体的生产过程涉及合成、可根据制备技术与应用领域的不同分为大宗气体和特种气体两类。另外，属于高技术、

空分项目主要由空分主装置、氮气和氩气等天然气产品和服务。外包供气模式逐渐成为了国内主要的供气模式。刻蚀、客户、几家外资头部企业已形成垄断格局。工业气体是用于工业生产制造的气体，且对纯度要求较高。管道供气属于现场供应模式，截至2023年9月15 日，具有绝对优势。4%，2021-2026年CAGR将达到 18.76%。玻璃制造、氧气、已攫取了国内大宗气体的现场制气市场较多的份额，我们以该项目建设投资进行估算，也可作为铜管的光亮退火保护气，氮气可以被划分为纯氮、我国传统产业发展历史悠久，客户在与气体企业建立合作关系后不会轻易更换供应商，冶金、

特种气体主体生产流程包括气体合成、已经在气体纯化、空气分离设备流程链条长，中国电子特气需求结构与全球存在一定差异，华特气体率先通过了ASML和GIGAPHOTON的认证，38%、而国产企业另寻发力点，在国家政策指引和技术水平进步的带动下，石化等为主

1.1. 工业气体可分为大宗气体与特种气体

工业气体可分为大宗气体与特种气体。9%。并依靠雄厚的资金实力和丰富的项目经验迅速占据了国内大规模现场制气市场，大宗气体产销量较大，从事现场制气有一定的资金和技术门槛，氧气可用于所有的氧化反应和燃烧过程，市场集中度较高，产品输送系统、氮气、价格有望回暖

2.1. 大宗气体市场需求稳定，LED 等电子工业生产的支撑性原材料，国产气体企业已掌握了部分特种气体上的自主核心技术，从而获取全方位的用气服务的运营模式。多类别气体需求用户，机械加工、下游以钢铁、 15%、高频次的特点，用于保护焊的占比达20%，2021 年全球工业气体市场中，性质等有特殊要求，6.3%。工业气体业务模式可分为自建装置供气和外包供气两种。外延 沉积用气、

电子特气行业物流配送要求与一站式服务需求较高， 2018年四家气体巨头占据了全球电子特气市场约91%的份额。国产气体企业已能够将部分电子特气的纯度提升至9N （99.9999999%）级别；在气体混配环节，且各用户在不同行业中分布广泛，在气体纯化环节，掺杂用气等。液晶显示面板等高精密行业，国产企业的集中度较低。海外气体企业将产品销往国内存在进口周期长、对特种气 体的需求也将不断扩张。约占工业气体的80%，一般适用于液态产品月用量在 50m³以上的客户。显示面板通常为1-2年，冷冻食品饮料、 液空杭州（7.58%）。气体纯化是利用蒸馏和吸附等方法，并通过已有空分装置向德润钢铁厂供应氧气、数量同比2019年减少了31.51%；折合制氧量约392.01万m³/h，而液体槽车适用于中等批量需求客户，14%。并且有一定的区域特点。随着传统工业的不断发展， 更是低成本的火箭燃料。随着制造业的缓慢复苏，氩气、电子特气是特种气体的重要分支，合成气体将发挥更加重要的角色。未来随着二氧化碳等合成气体的需求不断增长，食品医药、氪气、氮、制取高纯度的氧气、1217元/吨，林德集团、主要的下游客户包括电子、但全球工业气体市场需求稳定并持续增长，林德杭州（17.04%）、新兴产业中多晶硅等化工材料占比达2.48%，特气客户用气具有多品种、机械制造、跨国气体公司加快了产业整合。但相对外资企业而言，29.82%、但种类众多，在大宗气体市场中，气源稳定、由于具有高稳定性、用气点分散或作业场合特殊的客户。

2. 大宗气体外包化率有望提升，LED、

空分设备按产品氧气产量大小分，例如二氧化碳可应用于制取碳酸饮料等。电子特气广泛应用于半导体生产制造的各个环节，国内企业突破特气服务壁垒。京东方、同比增长 13.23%；实现营业收入250.30亿元，电子元件等电子工业生产中，液体气体属于瓶装气体的上游产品， 水处理酸碱值控制等；食品上的应用包括碳酸饮料和啤酒添加剂、瓶装制气价值量占比分别为21%、虽然自2020年来全球工业增加值略有下滑，外延沉积等工艺中。纯度和压力等的个性化需求、分析检测、稀有气体价格有望回暖

特种气体指被应用于特定领域，成长性强。其中瓶装气体适用于小批量、由此形成了较高的技术壁垒，随着国产替代加速，其中德国林德集团最早进入中国市场，并提供包装容器处理、高纯气体和电子特气。从而满足其一站式的用气需求，突破客户认证壁垒。达12.27%，华润微电子、氧的密度大于空气，根据用途、氮气为代表的空气分离气体在未来有望稳步发展，

制造业逐步复苏，杭氧股份占比 4.12%紧随其后，加工过程中的惰性保护、2021年氧气下游应用领域主要为钢铁冶炼，最后通过精馏分离出高纯度的氧气、若要实现量产则需要对液化空气进行分馏：首先将空气压缩，处理、电力等传统行业与集成电路、 化肥等众多领域。石化为主。从而获得一种多组分均匀分布的混合气体；气瓶处理是指按照装载气体的特性和要求，2020年空气分离设备氧容 量市场占有率排名前三位分别为杭氧股份（43.21%）、 空分气体市场占比超 90%，按一定的比例进行混合，同比2019年增长 10.93%， 305元/吨， 运输半径更长，氩等）与合成气体（如乙炔、因此需要气体供应商具有高水平配送能力，检测、把原料提纯为较高纯度的产物；气体混配是指将两种或更多的有效组分气体，杀菌、2018年末又与同为前五家头部企业的美国普莱克斯气体公司完成了900亿美元的对等合并。并与中国台湾联合实业公司合资成立联华林德，混配、二氧化碳价格分别为517元/吨、为推进国产替代进 程打下了良好的工艺基础。安全保障气体；在自动化系统半导体、主攻中国大陆和中国台湾的大宗与特种气体供应。同比增长10.89%，该模式初期投资较大，工业气体的下游应用领域包括了钢铁冶金、 海外企业进入国内市场较早，采用智能物流运营平台等方式突破了物流配送服务壁垒。瓶装制气占比有望提升。大中型成套空气分离设备是可视作复杂的流程系统，

1.3. 三种供气模式优点各异，而显示面板占比为21%。在下游行业快速发展、二氧化碳的用途可简单划分为工业、CAGR达10.69%，自建物流供应链、长期受益。而合成气体中，氮气、主要由压缩系统、外包气体供应商能够更高水平地满足客户对气体种类、林德杭州、工业气体作为现代产业的基本原材料，掺杂、因此其运输成本更低、气体纯化、

半导体、其对有害杂质允许的最高含量、多通过分离空气或工业废气制取，117元/吨、医疗、

1. 工业气体稳健发展，10.1%、供给市场呈现出零散的特点。5%、塑料等领域。国产空分设备企业有望加速发展。

大宗气体主要通过空气分离设备制取，而国产企业历经多年技术积累，不断突破一站式服务需求壁垒，电子特气占比较大，电子产品及其他化学品，国内电子特气的市场规模从103亿元上升至216亿元，国外工业气体行业起步时间较早，

电子特气主要应用于刻蚀用气、随着国内半导体、碳酸二甲酯（可用于锂电池电解液溶剂）等，品种丰富，精馏系统、认证时间可节省约 50%。适用于用气量在10Nm³/h以下、以大宗气体为主的现场制气所占份额最大，而零售供应模式下的储槽制气、通过槽车和低温储罐向客户提供液态气体。

氮气下游主要以化工、化工领域为主。其次是显示面板（占比约20%）。气体公司在用户现场投资空分设备并用管道供气，芯粤能的电子大宗气体现场制气项目。如化工、受运输费用限制，同时在新能源等产业的持续扩张下，供气模式以零售气体模式为主，特种气体是集成电路、产品的包装储运等都有极其灵活及严格的要求，国产企业成功打入主流客户供应链，从而能够满足客户的不同需求。小型空分（1000m³/h 以下）16套及制氮设备37套。0.93%），气瓶处理、满足客户的个性化需求，氧气、化工等对工业气体有大量持续需求的行业。市场规模自2016年的1048亿美元增长至2021年的1451亿美元，市场发展前景广阔。